X線ステレオ方式®︎ 3次元X線観察装置
(FX-300tRX2 with CT)
検査対象例:実装基板のBGA等のはんだ部、LEDのフリップチップ実装のはんだ部など
- 小型のX線装置でありながら、幾何学倍率1000倍
- 独自開発した「X線ステレオ方式®」で裏面情報をキャンセル
- フラットパネルが60度傾斜。斜め観察でも倍率が下がらない
- 斜めから観察する場合は位置を自動追従
- 各種の測定機能付き

おすすめメーカー3選と比較ポイントを解説。 基板や電子部品の検査では、確認したい不良の種類や視野範囲、設置条件によって選ぶべきX線検査装置が変わります。
当サイトでは、基板検査向けのX線検査装置について、導入前に押さえたい比較ポイントを整理したうえで、おすすめメーカーを紹介。 カタログ請求や見積依頼の候補を絞りたい事業者向けに、選定のヒントをまとめています。

各社の資料やカタログを取り寄せ、X線検査装置を選ぼうにも各社の違いを明確に把握するのは至難の業。
スペックは材質や計測部品によっても変わりますし、何をどのような目的で計測するかによっても異なります。
大事なのはスペックの数字にとらわれすぎないこと。
予算に対し適したX線検査装置がどれになるかを見極めることが大切なポイントです。

自社で扱っているどの部品の検査をするために導入するのかを想定し、まずは照射テストを申し込むことがおすすめです。
徹底した品質管理を行うためには自社製品と相性の良いX線検査装置の導入が重要となります。どんなにスペックが良くても扱っている部品によってはうまく映らないケースも。
テストは各メーカーに依頼できるので、まずはテストしたい部品を各メーカーに送り、本当に検査したい欠損部分が映っているのかどうかを確認することが非常に重要となります。


当サイトでは、基板をはじめとした電子部品向けのX線検査装置を調査。発注先から求められる品質や開発する製品に応じて、おすすめの検査装置をご紹介します。検査装置導入に伴う、カタログ請求や見積依頼の候補にしてみてはいかがでしょうか。



製造や開発する製品に使われる基板や電子部品に合わせて、おすすめの検査装置を紹介しました。どのくらいの精度で検査できるのか、スペックなど詳しく見ていきましょう。
両面基板を調べる際、従来のX線透過画像は裏映りが激しく、特定の不良が見えにくいという課題がありました。これを解消させたのがX線ステレオ方式。BGA、LGA、QFN等の裏面の映りをキャンセルすることができるため、検査対象となる表面の不良を鮮明に撮影。効率のよい検査を実現しました。
アイビットのX線検査装置はオフラインのみならず、インライン検査機にもこのX線ステレオ方式が用いられています。
独自開発したX線ステレオ方式を搭載した3次元X線自動検査装置は、コンパクトサイズでありながら、幾何学倍率1,000倍を実現しています。これにより従来のX線CT装置では発見が困難だった、基板とボールの接合部分を鮮明に確認でき、分離している部分の特定ができます。
従来のX線管を傾斜させて撮影した場合、ハンダが分離している接合部分の解像度が不足していましたが、X線ステレオ方式では、傾斜しても倍率が下がらないので高解像度画像で確認できます。
従来のX線検査では基板の裏面に実装されているチップ部品なども撮影されてしまい、表面と重なって表示されてしまうため、正しい検査が困難でした。アイビット独自のX線ステレオ方式では、基板表面と裏面の切り分け検査が可能になり、直接確認できない「はんだ接合部のある部品」や「両面実装の基板」の検査が可能に。さらにX線CT方式と違い、断層画像が必要ありませんので、検査はわずか数秒です。
アイビットは、機種や撮影方式によって対応できる検査領域が異なります。FX-300tRX2 with CTの検査トレイサイズは330×250mm。大型基板対応シリーズでは、2D透過・60°傾斜観察は700×600mm、ステレオ方式・ステレオCTは600×600mmに対応しています。自社の基板サイズだけでなく、基板上のどこを、どの撮影方式で確認したいのかまで整理して機種を検討しましょう。
アイビットでは、X線ステレオ方式による裏面情報のキャンセルに加え、機種やオプションによってステレオCT、V-CT、P-CT、自動検査などに対応します。不良箇所を目視で観察できればよいのか、断層画像が必要なのか、OK・NG判定まで自動化したいのかによって必要な構成は変わります。検査工程をどこまで自動化するかも含めて、標準機能とオプションを確認しましょう。
X線管は長期運用のなかで交換が必要になる部品です。アイビットでは、保守契約を結んだ場合、X線管の修理期間中に代替管を貸し出す仕組みを案内しています。生産工程や品質管理で日常的に使用する場合は、故障・交換時の対応や保守契約の範囲まで導入前に確認しておくとよいでしょう。
信越半導体株式会社、三菱電機株式会社、株式会社日立製作所、ルネサスセミコンダクタマニュファクチュアリング株式会社、マレリ株式会社、トヨタ自動車株式会社、株式会社豊田自動織機、豊田合成株式会社、株式会社小糸製作所、本田技研工業株式会社、クラリオン株式会社、富士電機株式会社、富士通株式会社、パナソニック株式会社、日亜化学工業株式会社、日本電気株式会社、ソニーグローバルマニュファクチャリング&オペレーションズ株式会社、東芝メモリ株式会社、シャープ株式会社、京セラ株式会社、株式会社JVCケンウッド、日本精工株式会社、キヤノン株式会社、ローム株式会社、ホーチキ株式会社、能美防災株式会社、オリンパス株式会社、Samsung Electronics Co., Ltd.(韓国)、Wolfspeed.Inc.,(U.S.A)
Xslicer SMX-1020では、管電圧90kV、高解像度300万画素のフラットパネル検出器を搭載。オリジナルの新機能ハイダイナミックレンジ処理(HDR)が加わり、広視野で、明るくきれいな画像処理を実現させています。
また、最大3200万画素で撮影可能なパノラマ撮影機能も搭載。各画像間のつなぎ目が目立ちにくく、快適な操作性で広範囲を撮影できます。
観察開始までの工程は3ステップでOK。ワークセットからわずか5秒で撮影を開始することができ、同社の従来機よりも大幅な時間短縮を実現しています。
BGA計測では独自画像処理アルゴリズムを用いたことで、一部を除き複雑なパラメーターの設定も不要。任意の観察位置を個別に登録できるティーチング機能、透過しにくいワークを透過させる短SDD化機能など、操作性向上のためのサポート機能も充実しています。
オリジナルのハイダイナミックレンジ処理を搭載することで、カメラセンサーが捉えることができる透過性の良い部分と悪い部分を一度に観察できます。それにより、視認性の向上につながり、検査時間の短縮につながります。
Xslicer SMX-1010/1020は、350×450mm以下・高さ100mm以下・最大5kgのワークに対応しています。SMX-1020はSMX-1010より広い視野で観察でき、SMX-6010は470×420×100mm・最大5kgまで搭載可能です。基板全体を広く確認したいのか、微細な部分を拡大して確認したいのかを整理し、ワークサイズと必要な視野の両方から機種を比較しましょう。
Xslicerシリーズでは、機種によってCTへの対応方法が異なります。SMX-1010/1020ではCTユニットがオプション、SMX-6010ではPCT(斜めCT)が標準搭載され、VCT(直交CT)はオプションです。またVCTには、基板100×150mm以下・200g以下などの撮影条件があります。確認したい欠陥を透視画像で判断できるのか、断面まで見る必要があるのかを決めてから、必要な撮影方式を選びましょう。
X線検査装置は、必要な設置環境も機種によって大きく異なります。Xslicer SMX-1010/1020は質量700kg、単相AC100~240V・0.5kVA。SMX-6010は約2450kg、AC200V・1.5kVAです。装置本体が置けるかだけでなく、搬入経路や作業・保守スペース、電源などを含めて設置予定場所で運用できるかを導入前に確認しましょう。
公式サイトに主な取引企業の記載はありませんでした。
島津製作所のX線技術は1909年と古く、国内ではじめて医療用X線装置を完成させました。以降、産業用X線検査装置においても開発を重ね、日本国内のみならず、欧州や米州、中国を含むアジア各国で使用されています。
通常、高倍率観察には据置型のように大型のX線装置が必要となることが一般的ですが、松定プレシジョンでは専用に開発した高圧電源技術に加え、独自のX線管を採用することでコンパクトサイズの卓上型を実現しました。
卓上型でありながらも、管電圧は90kVとハイパワー。これに、高分解能カメラと画像処理機能s-HDRが組み合わさり、鮮明で美しい画で検査ができます。
松定プレシジョンでは、低価格な製品からハイエンドな製品まで、幅広いラインナップを取り揃えており、購入を検討している方向けにデモンストレーションを行っています。デモンストレーションの方法にはオンラインデモやデモルームに来場してのデモ、サンプル測定、訪問デモなどがあります。
また、有償にて松定プレシジョン製の製品を貸し出すリースサービスも展開しており、一部の機器に関しては購入前に性能評価や動作テストなどを行うことができます。
これまで金属といった透過しにくい対象物は、パワーのある大型装置での検査が必要でした。そこで松定プレシジョンでは自社でX線管を開発。卓上型であっても検査できるパワーを実現できるように。場所を取るような大型装置を使わずとも検査ができるため、サンプル基板の検査導入にも対応できます。
precision µB3600はW455×D625×H630mmの卓上型で、別売の拡大率調整ステージを使用するとX58×Y50mmの広視野観察にも対応します。precision µB4600はX330×Y340mmの大型ステージを搭載し、電子回路基板やケーブル付きコネクタなどの観察も想定されています。実際に検査する試料の大きさと、確認したい範囲・位置をメーカーへ伝え、装置内への搭載可否と観察範囲を確認しましょう。
precision µB4600は、60kV・90kVのX線管や、150万画素・300万画素のカメラなどを検査対象に合わせて選択できます。金属など透過しにくい試料を観察するのか、微細な欠陥を確認したいのかによって適したX線管やカメラは異なります。材質や厚み、確認したい欠陥を伝えたうえで、必要な仕様を選びましょう。
松定プレシジョンでは、東京・滋賀の施設でX線検査装置のデモンストレーションを行っています。自社サンプルを持ち込んで撮影できるほか、複数機種を自分で操作して比較し、撮影データを持ち帰ることも可能です。カタログスペックだけで決めず、実際に検査したい基板や部品で欠陥の見え方と操作性を確認してから機種を検討するとよいでしょう。
パナソニック株式会社、ソニー株式会社、株式会社ニコン、トヨタ自動車株式会社、本田技研工業株式会社など大手電気機器や自動車、精密機器メーカー多数/学校・公的機関については東京大学や東京工業大学、大阪大学、京都大学、産業技術総合研究所、宇宙航空研究開発機構、理化学研究所など多数
アイビットは、神奈川県川崎市の本社を置き、世界中に拠点を設け、独自開発のX線ステレオ方式と搭載したX線検査装置を、全世界で製品の販売とサービスを展開しています。さらにNIS製品の保守サービスも提供しています。
画像引用元:アイビット公式HP
http://i-bit.co.jp/products/FX-400tRX.html
国内外の拠点で保守サービスを提供しているほか、装置のレンタルやX線撮影にも対応しています。
島津製作所は、創業から150年にわたり「科学技術で社会に貢献する」を社是とし、計測機器、医療機器、産業機器、航空機器の4つの分野で事業を展開しています。同社のX線検査装置のラインナップも充実しています。
画像引用元:島津製作所公式HP
https://www.an.shimadzu.co.jp/ndi/products/x_rylk/smx-1010.htm
保守契約「Ai Support」には3つのプランがあり、定期点検やオンコール修理に対応しています。XSeeker 8000では、IoTを活用した24時間365日の見守りサービスも提供しています。
松定プレシジョンは、独自の高電圧技術をもとにマイクロフォーカスX線管を開発し、X線非破壊検査装置を提供しています。同社では、X線検査装置を検討している方向けにデモンストレーションの実施をしています。
画像引用元:松定プレシジョン公式HP
https://www.matsusada.co.jp/product/xm/xins/precision_ub3600/
画像研究室でのデモやサンプル測定、装置の有償レンタルに対応しています。保守契約や定期点検の詳細は問い合わせが必要です。
1993年の創業以来オムロンは、現場がかかえる課題を解決するオートメーションの実現に取り組み、制御機器や制御アプリケーションを提供しています。同社ではインライン式のX線検査装置を提供しており、現場の全数検査に対応しています。
画像引用元:オムロン公式HP
https://www.omron.com/jp/ja/technology/omrontechnics/2019/20190510-shichiro.html
保守契約に加え、年1回のメンテナンス、24時間の障害対応、リモートサポートを提供しています。
日本国内をはじめ、世界23か国で事業展開している東芝ITコントロールシステムは、放射線に関する資格取得者の高い技術力を活用し、非破壊検査や制御・管理など、さまざまな分野で社会に貢献しています。
画像引用元:東芝ITコントロールシステム公式HP
https://www.toshiba-itc.com/hihakai/txscanner/
現在の東芝ユニファイドテクノロジーズでは、設計・製造・販売からサービスまで一貫して対応しています。保守契約の具体的な内容は問い合わせが必要です。
ソフテックスは、大学の医学部や研究所、病院、電子部品、自動車部品、食品産業部門など、さまざまな業種へX線検査装置の提供をしています。また軟X線を使用したX線検査装置を得意としています。
画像引用元:ソフテックス公式HP
https://www.softex-kk.co.jp/products/sfx.html
年1回の定期点検では、装置のメンテナンスに加えてX線漏洩測定と結果報告を実施しています。試写や技術指導を受けられるラボサービスもあります。
ビームセンスは、「小型で簡単、よく見える」をコンセプトにしたX線検査装置の取り扱いをしているメーカーです。同社は、従来のX線撮影とデジタル技術を組み合わせた、リアリティを追求したX線画像を実現しています。
画像引用元:ビームセンス公式HP
https://beamsense.co.jp/?page_id=2
公式サイトでは保守契約や定期点検の具体的な案内を確認できませんでした。サポート内容は問い合わせが必要です。
JCSS登録業者のポニー工業は、放射線関連装置を軸として、さまざまな非破壊検査装置の開発・製造・販売を展開している企業です。同社のマイクロフォーカスX線検査装置やガンマ照射装置などは、カスタマイズに対応しています。
画像引用元:ポニー工業公式HP
https://www.ponyindustry.co.jp/products/68.html
JCSS登録事業者として校正サービスを提供しています。納入時・納入後のIQ/OQやバリデーション、報告書作成にも対応しています。
メディエックステックは、X線専門メーカーとして、高解解像度のマイクロフォーカスX線管を応用したX線検査技術の開発・製造・販売・アフターサービス提供しています。同社の卓上型X線検査装置は、X線漏れ線量を大幅に削減することで、特別な申請や資格がなくても誰でも簡単に検査を行うことができます。
画像引用元:メディエックステック公式HP
https://www.medixtec.co.jp/products/80eco/
納品日から1年間の保証があり、保証期間後も定期点検を依頼できます。故障が疑われる場合の訪問修理や、納品時の安全講習にも対応しています。
マーストーケンソリューションは、自動認識システム分野での経験と実績、ノウハウを活用し、さまざまな分野へのソリューションを提供しています。同社の原動力となる技術力・提案力・研究開発・製造拠点の4つの強みを活かし、自動認識システム・X線装置など組み合わせたユーザー様に適した提案と導入を提供しています。
画像引用元:マーストーケンソリューション公式HP
https://www.mars-tohken.co.jp/xray/products/xray-inspection/mux2021/
専門オペレーターによるX線検査の受託サービスを提供しています。保守契約や定期点検の具体的な内容は問い合わせが必要です。
ハイテクノロジーのX線システムを生み出す企業を目指しているユー・エイチ・システムは、2021年から工業用X線分野において世界で一番役立つ集団を目指し、研究開発、人材育成に努めています。
画像引用元:ユー・エイチ・システム公式HP
https://www.uhsystem.co.jp/product_1/xva-160ii/
公式サイトでは製品情報が中心で、保守体制の具体的な案内を確認できませんでした。詳細は問い合わせが必要です。
ニコンは、信頼と創造を企業理念として、事業活動を通し、持続可能な社会づくりへの貢献と、自社に持続的な成長の双方の実現を目指しています。また同社テクノロジーを駆使したX線CT検査装置は、非破壊検査を必要とするさまざまな分野で活躍しています。
画像引用元:ニコン公式HP
https://www.jp.nikon.com/company/technology/product/xray-ct/
プラン別の保守サービス契約を用意しており、契約者には不具合発生時の優先対応を行っています。X線CTの受託検査やレンタルラボも提供しています。
ドイツに本社を置くエクスロンは、中国、日本、台湾に販売とサービス拠点を設け、50か国以上に代理店ネットワークを通して、世界中にユーザーへ販売・サービスを提供しています。
画像引用元:エクスロン公式HP
https://yxlon.comet.tech/en/products/cheetah-evo
現在はコメットテクノロジーズ・ジャパンが、国内で販売、修理、検査サービスに対応しています。横浜のラボではデモ機も利用できます。
ノードソングループ企業のノードソン・デイジーは、お客様に新たな価値の創造に向けたソリューションの提供を行っています。同社は、新しいエレクトロニクスに関するさまざまな工程の品質向上、信頼性向上、生産性向上に向けたソリューションの提供をしています。
画像引用元:ノードソン・デイジー公式HP
http://www.nordson-at.com/products/?id=1486446392-150350&ca2=1420605887-146077
日本法人が国内サポートを担当しています。西日本では正規代理店のオーヨーがデモやメンテナンスに対応しています。
サキコーポレーションは、独自の高速検査技術を活用し半導体モジュールの製造工程や実装基板の不良などの品質検査機器の製造から販売・サポートまで一貫してサービス提供しています。
画像引用元:サキコーポレーション公式HP
https://www.sakicorp.com/product/3daxi/
販売を終了した製品についても、販売終了後7年間は不具合対応などの保守サービスを提供しています。
ティアールアイは、インラインX線検査装置などの各種検査装置を取り扱う会社で、ティアールアイジャパンは同社の日本オフィスです。外観検査装置、X線検査装置は台湾および中国で高いシェアを有しています。
画像引用元:ティアールアイ公式HP
https://www.tri.com.tw/jp/product/product_detail-51-2-1527-1.html
台湾TRIの日本拠点が国内窓口です。国内で受けられるサポートの具体的な内容は問い合わせが必要です。
テクノホライゾンは、X線・画像処理などの先進の技術を取り入れ、高精度かつ安定した性能の検査装置を提供している会社です。実際に自社ラインで使用している各種検査機器を提供しています。
画像引用元:テクノホライゾン公式HP
https://www.technohorizon.co.jp/lp/manufacturing_quality_solutions/
TIETECHブランドでX線自動検査装置を製造しています。保守契約や定期点検の具体的な内容は問い合わせが必要です。
エヌアイシーには、多種多様な分野に対応できる豊富な検査装置のラインナップがあります。工業用X線装置では、マイクロフォーカスX線検査装置からミリフォーカスX線検査装置までをそろえています。
画像引用元:エヌアイシー公式HP
http://nicjp.com/xray/hk.html
カスタムメイドの非破壊検査装置について、提案からメンテナンスまで一貫してサポートしています。
エムエスエンジニアリングは、リワーク装置・付属品および関連機器の専門メーカーで、す。リワーク関連機器として、3シリーズのX線検査装置、断層撮影装置などの取り扱いがあります。X線検査装置では、手軽な卓上タイプからハイスペック装置まで対応しています。
画像引用元:エムエスエンジニアリング公式HP
http://www.mseng.co.jp/new/ja/products/xray/msx600.html
公式サイトではX線検査装置のサポート体制を確認できませんでした。保守や点検の対応可否は問い合わせが必要です。
高出力X線発生装置と高解像度検出器を搭載したX線CTシステムを提供しています。ポータブルから大型産業用まで扱っている点が強みです。撮影対象などに応じて提案をしてくれるため用途に合っている製品を選べます。
画像引用元:テスコ公式HP
https://www.tesco-ndt.co.jp/products/portable.html
海外製X線装置の輸入販売に加え、各システムの保守と受託スキャンサービスを提供しています。
X線非破壊検査機器・X線分析・熱分析の専門メーカーです。ISO9001の認証・登録を取得するなど品質管理に努めています。ガイダンス機能を備えた製品など、特長が異なる複数のX線検査装置を展開している点が特徴です。
画像引用元:リガク公式HP
https://japan.rigaku.com/ja/products/xrd/smartlab?index=1
予防保全契約を用意し、定期講習会やeラーニングも提供しています。保守部品は装置の納入検収後10年間、保守サービスは12年間の対応を原則としています。
千葉県柏市に本社を構える事業者です。超音波エネルギー・環境エネルギーを活用して、地球環境へ貢献することを目指しています。オートプログラムコントロールを採用したX線検査装置などを扱っています。
画像引用元:日本アレックス株式会社公式HP
https://www.nalex.co.jp/products/inspection/fd-02/
公式サイトではX線装置の保守体制に関する具体的な案内を確認できませんでした。詳細は問い合わせが必要です。
お客様の「作りたい」を形にする半導体商社です。商社業務と試作・評価・解析業務を提供しています。自社のリソースを活用して自動不良判定検査などを行うX線非破壊検査&解析受託サービスを展開しています。
画像引用元:シーマ電子公式HP
https://shiima.co.jp/service/svxr
米国SVXR社製X線装置の国内窓口として、デモ機の設置やX線非破壊検査の受託に対応しています。保守契約の詳細は問い合わせが必要です。
ZEISSは光学およびオプトエレクトロニクス分野で世界的に事業を展開しているテクノロジー企業です。高速X線CT業界を率先する新たな測定ソリューションを提供しており、これまでの座標測定器では検出できなかった製品内部構造や素材内部欠陥の測定・分析・検査が可能です。
画像引用元:ZEISS公式HP
https://www.zeiss.co.jp/metrology/campaigns/x-ray-solution.html
ソフトウェア保守契約やトレーニングプログラムを提供しています。工業用CTの点検やX線漏洩測定の詳細は問い合わせが必要です。
X線や超精密コンピューター断層撮影、X線撮影試験、HD遠隔目視検査、超音波ポータブルなど優れた非破壊試験ソリューションを開発している会社。各産業の世界トップブランドと提携し、安心を提供しています。
画像引用元:Baker Hughes(ベーカーヒューズ)公式HP
https://www.bakerhughes.com/waygate-technologies/industrial-radiography-and-ct/phoenix-advanced-industrial-xray-and-ct/phoenix-micromex-neo-and-nanomex-neo-electronics-testing-solutions
日本法人がカスタマーソリューションセンターを設け、デモや受託スキャン、技術サポートを提供しています。
制御盤・システムユニット設計技術や保守技術、FPGA、ソフトウェア開発技術、システム設計などを通して高品質で安心できるワンストップソリューションを実現している会社。コア技術力により、お客様の製品づくりをサポートしています。
画像引用元:アジアエレクトロニクス株式会社公式HP
https://www.asiaele.co.jp/vision/ie.htm#sec04
装置の製造から保守まで一貫して対応し、長期的な保守・サービス体制を整えています。
画像処理ソフトウェアとハードウェアの一新により、X線3D画像が大幅に向上しているX線検査装置を製造しているヤマハ発動機。2D光学・2D・3DX線・レーザーのハイブリッド検査が可能な特徴があります。
画像引用元:ヤマハ発動機株式会社公式HP
https://www.yamaha-motor.co.jp/smt/inspectionsystem/ysi-x/
SMT事業部がX線検査装置の窓口です。保守契約の具体的な内容は問い合わせが必要です。
三啓は、顕微鏡・光学機器の販売に特化した技術商社です。最新の設備と専門技術で、お客様の試料作製をトータル的にサポート。多様な分野の精密測定からバイオサイエンスまで対応し、X線CTで広範囲な検査ニーズに応えます。
画像引用元:株式会社三啓公式HP
https://www.sankei-coltd.co.jp/product_slug/%E9%9B%BB%E5%AD%90%E9%83%A8%E5%93%81%E5%90%91%E3%81%91%EF%BD%98%E7%B7%9A%E6%A4%9C%E6%9F%BB%E8%A3%85%E7%BD%AE%E3%80%80xtv160-xtv130c/
公式サイトではX線検査装置の保守に関する具体的な案内を確認できませんでした。詳細は問い合わせが必要です。
メイショウは、多種多様な顧客の要望に応える広範囲なソリューションを展開しています。特筆すべきは、価格面ながら性能面に優れたX線観察装置「FX-300 tR」で、最大800倍の拡大が可能となっています。
画像引用元:メイショウ株式会社公式HP
http://www.e-meisho.co.jp/products/x%e7%b7%9a%e8%a6%b3%e5%af%9f%e8%a3%85%e7%bd%ae%e3%80%80%ef%bd%86%ef%bd%98-300%ef%bd%94r/
リワーク機については保守サービスを案内しています。X線検査装置の点検や保守の詳細は問い合わせが必要です。
ステラは多岐にわたる産業向けに、スプリング材料やプリント基板機材など、多様な製品を提供しています。線材、電子機材、特品、エコシステムの4部門を通じ、特定のニーズに対応したサービスを展開。さらに、同社は高機能でコスト効率の良いCT機能付X線検査装置も提供し、細かな非破壊検査を可能にしています。
画像引用元:ステラ株式会社公式HP
https://www.stella.co.jp/electronic/products/x_rays/
公式サイトではX線検査装置のサポート体制を確認できませんでした。保守や点検の対応可否は問い合わせが必要です。
ハイテックスは、高解像度のX線装置を提供することで、工業用製品検査から医学・学術研究まで広範なニーズに応えています。1985年の設立から40年以上にわたる経験をもとに、各業界や研究機関向けに特化したX線撮影装置を開発しています。これらの装置は、高品質な画像と速やかな出力を実現し、幅広い分野での要求に対応しています。
画像引用元:ハイテックス株式会社公式HP
http://www.hitex.co.jp/product/sochi/
公式サイトではX線検査装置のサポート体制を確認できませんでした。保守や点検の対応可否は問い合わせが必要です。
中外テクノスは、工業用および医療用の放射線機器分野で培われた深い知識と技術力を活かし、X線検査装置や自動化検査装置を幅広く提供しています。カスタマイズ対応やロボット技術を駆使した自動化ソリューション、既存設備のリニューアル、コンサルティングサービスを通じて、各種検査課題に対応。また、X線受託検査サービスも提供し、お客様の多様なニーズに応えています。
画像引用元:中外テクノス株式会社公式HP
https://ndt.chugai-tec.co.jp/
X線CT装置の製作や受託検査に対応しています。保守契約の具体的な内容は問い合わせが必要です。
エー・アンド・デイは、優れたX線検査機をはじめ、計測・計量機器、医療機器、健康器具など、多岐にわたる分野で高品質な製品とサービスを提供しています。また、自動車エンジン開発などの分野で利用される先進的な計測・制御・シミュレーションシステムの開発にも注力しています。
画像引用元:株式会社エー・アンド・デイ公式HP
https://www.aandd.co.jp/products/inspection-machine/checkweigher/che-x-ray_inspection_system/ad4991/
相談窓口を設け、食品用X線検査機の修理に対応しています。保守契約の有無や内容は問い合わせが必要です。
半導体装置・電子材料の輸入販売など、さまざまな工業用機器を取り扱っている企業です。
X線検査装置は、非常に高い解像度と操作性を兼ね備えた製品を販売しており、さまざまなアプリケーションに対応しているのが特徴です。
画像引用元:テクノアルファ公式HP
https://www.technoalpha.co.jp/products/semiconductor/yxlon.html
Comet Yxlonなどの製品を販売しています。保守はメーカー側が主体となるため、国内で受けられるサポートの詳細は問い合わせが必要です。
顧客に対する技術サポートを大切にし、国内外メーカーのさまざまな電子部品・基板実装を取り扱いしています。国内に複数の拠点を持ち、香港・モスクワ・上海・マニラなど海外事務局も多く、各国各地の豊富な技術や情報に精通しています。
画像引用元:イーグローバレッジ公式HP
https://www.e-globaledge.com/products/manufacturing/manufacturing-inspection/aoxi/
Viscom製品の国内販売に加え、複数の技術サポート拠点を展開しています。
オーヨーはNordson Dage社の正規代理店でデモ機を保有しています。感染対策が徹底されたデモルームで試すことができる製品はマイクロフォーカスX線検査装「QUADRA 5」。営業マンによる一次対応や修理担当者によるメンテナンスといったアフターサポート体制が整っています。
画像引用元:オーヨー公式HP
http://www.oyogkn.co.jp/quadra/
Nordson DAGEの正規代理店として、西日本でデモやメンテナンスに対応しています。
トモミ電子では「実装基板X線検査装置 TXV-CH4090FD」を取り扱っています。プリント基板の設計~製造・電子機器の開発~製造を実施し、納期や品質、価格など、顧客が満足できる製品づくりができるよう取り組んでいる会社です。
画像引用元:トモミ電子公式HP
http://www.tomomidenshi.co.jp/tester.htm
密閉型のメンテナンスフリー製品を案内しています。保守契約の有無や具体的な内容は問い合わせが必要です。
画像検査と電気検査、両方の開発が可能なメーカーです。顧客ニーズに合わせたオーダーメイド・カスタム装置にも対応しており、業種を問わずオールマイティに開発からメンテナンスまで行っています。
画像引用元:新電子公式HP
https://www.shindenshi.co.jp/service/esv7000.html
公式サイトではX線検査装置のサポート体制を確認できませんでした。保守や点検の対応可否は問い合わせが必要です。
2000年の設立以来、半導体基板検査機器のメーカーとして開発、製造、販売、メンテナンスまで一貫して行ってきました。高いテストテクノロジーの技術でベースマシンを取り揃えており、生産ラインに合わせた提案をしています。
画像引用元:協立テストシステム公式HP
https://www.testsystem.co.jp/jp/products/vitrox-v810is2ex/
装置の開発・製造・販売からメンテナンスまで一貫して対応しています。国内外に拠点があります。
広島に本社を置き、タイにも拠点のあるエスジーテック。経営・販売・製造のすべてをトータルで行える体制として発足し、タイ拠点からASEAN地域での各種サービスも展開しています。X線検査装置ではCTを搭載し、超高解像度を実現しています。
画像引用元:エスジーテック公式HP
https://www.sg-tech.co.jp/Distributor.html
公式サイトでは国内の保守体制に関する具体的な案内を確認できませんでした。詳細は問い合わせが必要です。
1974年の設立当初から現パナソニックのプリント基板用材料を主材料としていた東京電資。現在はパナソニックプリント配線材料の専売代理店となっています。X線自動検査装置では高解像度2μmの検査装置など、豊富に扱っています。
画像引用元:東京電資公式HP
http://www.t-denshi.co.jp/item_list13.html
アイビット製X線検査装置の販売窓口です。公式サイトでは保守に関する具体的な案内を確認できないため、詳細は問い合わせが必要です。
アプライド・ビジョン・システムズは国立研究開発法人 産業技術総合研究所(産総研)の技術移転ベンチャーとして発足した経緯を持つ企業で、その技術を活かしたサービスと製品を提供しています。
画像引用元:アプライド・ビジョン・システムズ公式HP
https://avsc.jp/product/product_print-analysis.html
公式サイトではX線検査装置の保守体制に関する具体的な案内を確認できませんでした。詳細は問い合わせが必要です。
菱光社は各種検査機器などの豊富な取り扱いラインナップと優れたアフターサポート力が強みの企業です。アメリカ航空宇宙局(NASA)への導入実績があるソリューションも取り扱っているなど、幅広い顧客ニーズに対応できます。
画像引用元:菱光社公式HP
https://www.ryokosha.co.jp/products/%E9%A1%95%E5%BE%AE%E9%8F%A1%E8%A6%B3%E5%AF%9F%E8%A3%85%E7%BD%AE/%EF%BD%98%E7%B7%9Act%E8%A6%B3%E5%AF%9F%E8%A3%85%E7%BD%AE/xt-mct.html#a
専門スタッフによるサポートに加え、Web通話を使った相談にも対応しています。校正などの詳細は問い合わせが必要です。
大正15年、化学肥料・石灰窒素を生産する会社として発足した化学メーカーです。同社の塩化ビニル樹脂と半導体ウェハーは世界トップシェアです。半導体ウェハーのトップシェアを支えている、X線検査装置を自社開発し販売も行っています。
画像引用元:信越化学工業公式HP
https://www.shinetsu.co.jp/jp/products/processing-trading-specialized-services-business/bump-voids-x-ray-inspector/
公式サイトにX線バンプボイド検査装置の製品ページと問い合わせ窓口があります。保守やサポート体制の具体的な内容は問い合わせが必要です。
半導体、マイクロエレクトロニクス組立て材料および装置の開発、マーケティング、販売を行っています。X線検査装置は主にSEC社の製品を取り扱っており、多彩な種類に対応しています。
画像引用元:CMTジャパン公式HP
https://llc-tm.net/product/product03/
海外製X線検査装置の輸入窓口です。国内で受けられるサポートの具体的な内容は問い合わせが必要です。
精度を重視しているメーカーで、ISO9001認証を継続して取得していて、品質の高い検査機器を提供しています。世界各国に支社を持ち、あらゆる企業の幅広いニーズに対応しています。
画像引用元:Viscom公式HP
https://www.viscom.com/ja/products/x-ray-inspection/combo-x7056-ii/
世界各地にサービス網を展開しています。国内ではイーグローバレッジなどがサポートに対応しています。
同社の検査装置は試料に合わせてカスタマイズできます。予算や解析方法に合わせた提案を行います。大学や研究機関と共同開発して開発費を抑え、コストパフォーマンスの高い装置を製造しています。
画像引用元:コムスキャンテクノ公式HP
https://www.johnan.com/comscan/cs-products/cs-customize/
装置の販売と保守に加え、リースやX線CT撮影の受託サービスも提供しています。
X線の専業メーカーとしてさまざまな分野における装置を製造。X線発生装置を自社で設計・製造できる点が強みです。また、OEMやカスタマイズにも対応しており、この場合もX線発生装置は自社製品を使用しています。
近畿レントゲン工業社ではX線検査装置のカスタマイズ製造に対応しています。詳細はお問い合わせください。
必要時に修理・点検を依頼するオンコール方式と、月額制の保守契約方式を用意しています。代品の貸し出しやデモにも対応しています。
X線CTスキャナの開発・製造や自動化・省力化設備の設計・製作を手がける企業です。現在は高速X線CTスキャナの製造開発が主力であり、さまざまな装置も提供しています。また、X線検査装置などのOEM商品の設計・製作も対応しています。
画像引用元:日本装置開発公式HP
https://ct-web.jp/pages/29/
高速X線CTの製造や受託検査に対応しています。公式サイトでは保守体制の具体的な案内を確認できないため、詳細は問い合わせが必要です。
KnK(ケーエヌケー)は、X線装置や自動挿入機、レーザーマーカー、ジェットプリンターなど様々な装置を製造販売しています。同社のX線装置は、AIソリューションを活用して高い精度で検査をおこないます。
画像引用元:KnK(ケーエヌケー)公式HP
https://knk-kk.jp/product/x-ray/hawkeye9020-axi/
国内外に支店を設けています。保守契約の有無や具体的な内容は問い合わせが必要です。
タイ・バンコクにある、3Dデータを活用した測定システムやエンジニアリングサービスを取り扱う専門商社です。さまざまな非接触測定機器とサービスを販売しています。Comet Yxlon社の非破壊検査装置などを取り扱っています。
画像引用元:アサヒトランスナショナル公式HP
https://asahi-transnational.com/ja/xray-ct
タイの拠点でComet Yxlonなどの製品を取り扱っています。日本国内で受けられるサポートの詳細は問い合わせが必要です。
工業用・医療用・動物用など、さまざまな分野のX線発生装置を開発しています。独自の物質同定システム「Xprism®」など、X線検査の高精度化にチャレンジしている会社です。非破壊検査に適したX線発生装置も製造・販売しています。
画像引用元:ジョブ公式HP
https://www.job-image.com/products06-jp.html
公式サイトではX線発生装置の保守体制に関する具体的な案内を確認できませんでした。詳細は問い合わせが必要です。
エネルギー分散型の蛍光X線分析装置を取り扱っています。非破壊で固体、液体、粉末など様々な形態の試料を分析できる装置です。製造工程におけるインライン・オンライン測定に対応でき、全品検査による品質向上に貢献します。
画像引用元:クロスレイテクノロジー公式HP
http://xrtec.co.jp/products/xr5500-xr7700
年間保守契約と定期点検を用意しています。装置の状態確認に利用できる標準試料の貸し出しにも対応しています。
メカトロシステム開発や装置の提供、計測・制御機器、産業機械の販売などを行っています。電子部品産業や自動車部品産業、半導体産業など多くの分野のニーズに対応し、十分なサポート体制を整えています。
画像引用元:英光産業公式HP
https://www.ipros.jp/product/detail/2000251814
公式サイトではX線検査装置の保守体制に関する具体的な案内を確認できませんでした。詳細は問い合わせが必要です。
科学機器の製作及び販売業で1934年に創設され、長きにわたり科学技術の進歩に貢献してきました。日々変化するユーザーニーズにあらゆる角度から対応しています。
画像引用元:西山製作所公式HP
https://nishiyama-osaka.co.jp/product/sokuteikensa/366/
公式サイトではX線検査装置の保守体制に関する具体的な案内を確認できませんでした。詳細は問い合わせが必要です。
科学・医療分野の専門機器を取り扱っている商社です。国内ではM&Aによる拠点拡大を行い、タイにも現地法人があります。多数のメーカーの商品を取り扱っており、ニーズに合わせた提案が可能です。
画像引用元:アズサイエンス公式HP
https://azscience.jp/machine/detail/item_26613/
公式サイトではX線検査装置のサポート体制を確認できませんでした。保守や点検の対応可否は問い合わせが必要です。
持続可能な社会の実現を目指し、水素を中心としたエネルギー事業を行っています。半導体の進歩にあわせた非破壊の検査が可能なX線検査装置も取り扱っています。特注機の製造もワンストップで提供可能です。
画像引用元:岩谷産業公式HP
https://www.iwatani.co.jp/jpn/business/machinery/e-equipment/tester/detail.html#area05
公式サイトにマイクロフォーカスX線検査装置の掲載と問い合わせフォームがあり、サンプルに合わせた特注機の提案にも対応しています。保守体制の具体的な内容は問い合わせが必要です。
2013年に米国にて設立され、蛍光X線分析装置やX線吸収分光装置、3次元X線顕微鏡といった多彩な装置を提供している企業。キャノンマーケティングジャパンとの国内独占販売契約を締結しています。
画像引用元:Sigray公式HP
https://canon.jp/biz/product/indtech/sigray/lineup/prismaxrm
国内ではキヤノンマーケティングジャパンが輸入窓口となり、技術サポートとフィールドサービスを提供しています。
ドイツで創業され、世界規模でさまざまな分析装置の開発・製造を行っているメーカー「ブルカー」の日本法人です。産業用X線計測装置や高性能原子力顕微鏡など幅広い装置の販売・アフターサポートを提供しています。
画像引用元:ブルカー公式HP
https://www.bruker.com/en/products-and-solutions/semiconductor-solutions/x-ray-metrology-for-compound-semiconductor/qc3.html
保証期間終了後の保守契約や定期点検に対応しています。LabScapeのサービスプログラムも提供しています。
SMT設備から産業用ロボットまで扱うエレクトロニクス生産技術の専門商社です。顧客の生産現場の各工程に対応する総合的なラインナップを揃え、最適な設備を提案しています。
画像引用元:マス商事公式HP
https://www.mass.co.jp/product/tosmicron-ch4090fd/
公式サイトではX線検査装置のサポート体制を確認できませんでした。保守や点検の対応可否は問い合わせが必要です。
1955年の創業以来、電線および電線加工品を販売しており、時代とニーズに沿って事業展開をしてきたシバタ。液体ろ過装置の開発・販売とともに海外への展開も広く行っています。
画像引用元:シバタ公式HP
https://www.shibata.co.jp/products/tosmicron
公式サイトではX線検査装置のサポート体制を確認できませんでした。保守や点検の対応可否は問い合わせが必要です。

電子部品の小型化に伴い、実装基板は面の集約から縦へ積み上げていくスタイルと変わり、令和に入った今、基板の多くが三次元実装へと進化しました。これに伴い、X線検査装置はより高い透過率・高い画素数が求められています。
しかしながら、高い透過率やよい画質で見れば必ずしも不良が見つかるとは言い切れません。
そこで、ここでは株式会社アイビットの独自技術である「X線ステレオCT方式」を元に、三次元実装においてなぜ裏面キャンセル機能が重要となるのかを、実際の事例画像を用いて詳しく解説。
加えて、株式会社アイビットのもうひとつの強みともいえる「高倍率」についても紹介しています。画質の解像度を客観的に判断できる、日本検査機器工業会(JIMA)の試験片事例の鮮明さは必見です。
X線検査装置は、物体にX線を照射し、透過したX線を検出器で受け取って画像化することで、内部構造を非破壊で可視化できる技術です。
X線の透過性の違いを利用して、従来の目視検査では捉えにくい欠陥を鮮明に映し出し、品質管理を強力にサポートします。 X線検査装置の検討をする際、X線検査機器の費用相場や、インライン検査とオフライン検査の違い、X線検査機器の種類や原理などのX線検査装置の基礎知識を知っておくことは大切です。

X線は物質を透過する際、密度や厚みに応じて異なる割合で吸収・散乱される。X線検査装置はこの減衰の差を捉え、透過後の強度の違いを画像として表現する。透過量の多い部分は暗く、少ない部分は明るく表示されるため、内部構造や欠陥の有無が視覚的に把握できる。
検出器にはフィルムやデジタルセンサーが用いられ、取得された信号を画像に変換する。装置内では高電圧によって電子を加速させ、金属ターゲットに衝突させることでX線を発生させており、その性質を活かした減衰の原理が、内部の情報を非破壊で抽出する核となっている。
X線検査装置は、用途や設置方法などによって複数の観点から分類されます。たとえば、焦点サイズに着目した分類では、微細構造を高精度で検査できる「マイクロフォーカスX線装置」や、大型製品にも対応できる「高出力型」があります。
また、運用形態による分類としては、生産ラインに組み込む「インライン型」と、独立装置として使う「オフライン型」があり、全数検査と抜き取り検査で使い分けられます。
さらに、撮影方式の違いでは、2D透視に加え、断面や立体構造を確認できる「CT機能付きX線装置」も存在します。
このように、目的や導入環境に応じて分類軸を理解し、それぞれの特性を踏まえて適切な装置を選ぶことが重要です。
X線検査装置の価格は、装置の種類や機能によって大きく異なります。一般的には3,000万円~6,000万円前後が相場ですが、解像度やCT撮影機能の有無、検査スピード、検出精度、インライン対応などの条件によって価格帯は変動します。
また、ハイスペックな装置が必ずしも自社の検査ニーズに合致する 最適とは限らず、必要以上の性能を持つ機種を選ぶことでコストが膨らむことも。見積依頼の際は、テスト検査を依頼して自社製品との相性を確認することが重要です。
装置導入は大きな投資であり、長期的な運用が前提となるため、スペック表の数値だけにとらわれず、現場課題に最適な装置を選定することが成功のカギとなります。
左右にスクロールできます
| 項目 | インライン検査 | オフライン検査 |
|---|---|---|
| 設置場所 | 生産ライン上に組み込み | 生産ライン外で個別に設置 |
| 検査対象 | 全数検査(流れる全ての製品) | 抜き取り検査(一部の製品) |
| 特徴 | 自動でリアルタイムに良否判定可能 | 精密な検査が可能/柔軟に設定できる |
| メリット |
・品質のばらつきを抑えやすい ・人件費削減が可能 |
・初期コストを抑えられる ・高精度な分析が可能 |
| デメリット |
・導入コストが高い ・ライン設計が必要 |
・全数検査ができない ・人手が必要になることも |
| 適しているケース | 大量生産・不良流出防止が重要なライン | 多品種少量生産・設置スペースに制限がある現場など |
X線検査装置は、基板や電子部品の検査だけでなく、食品、医薬品、セキュリティ、工業製品の非破壊検査など、さまざまな分野で使われています。
ただし、検査対象や見つけたい不良が変われば、必要となる装置の特徴も異なります。導入を検討する際は、まず「何を検査したいのか」「どのような不良を確認したいのか」を整理することが大切です。
左右にスクロールできます
| 用途 | 主な検査対象 | 確認したい内容 | 重視される特徴 |
|---|---|---|---|
| 食品 | 包装食品、原料、液体、レトルト品など | 金属・ガラス・石などの異物、欠品、噛み込み | ライン対応、防水・防塵、誤検知を抑える画像処理 |
| 医薬品 | 錠剤、カプセル、PTP包装、箱詰め品など | 異物混入、欠品、割れ、数量不足 | 高感度な検出、安定した判定、検査結果の記録管理 |
| セキュリティ | 手荷物、小包、持ち込み品など | 危険物、不審物、隠匿物 | 処理速度、視認性、操作性、省スペース性 |
| 工業CT・非破壊検査 | 金属部品、樹脂成形品、鋳物、電池など | 内部の巣、割れ、ボイド、構造不良 | 透過力、分解能、3D観察、寸法測定への対応 |
| 基板・電子部品 | BGA、LGA、QFN、実装基板、半導体など | はんだ不良、クラック、ボイド、接続不良 | 高倍率、高解像度、斜め観察、裏面の映り込みを抑えた撮影 |
このように、X線検査装置は用途によって重視すべきポイントが異なります。食品や医薬品では、ライン上での異物検出や欠品確認が重視される一方、基板・電子部品の検査では、外観からは確認しにくい内部の不良をどこまで鮮明に見られるかが重要になります。
特にBGA、LGA、QFNなどの部品は、はんだ接合部が部品の下に隠れるため、目視では不良を確認しにくいケースがあります。基板向けのX線検査装置を選ぶ際は、高倍率・高解像度で撮影できるか、斜め方向から観察できるか、裏面の映り込みを抑えて見たい箇所を確認できるかを確認しておきましょう。
BGAは、はんだ接合部が部品の下に隠れるため、外観から接合状態を確認しにくい電子部品です。 X線検査を活用することで、ボイドやブリッジなど、内部のはんだ状態を非破壊で確認できます。 BGAを検査する際に確認したい不良や、X線検査装置を選ぶ際のポイントを解説します。
高密度実装された基板では、部品の下や基板内部など、目視では確認しにくいはんだ接合部があります。 X線検査では、こうした内部の接合状態を非破壊で確認できます。 はんだ不良の確認にX線検査を活用する際の考え方や、装置選定で確認したいポイントを紹介します。
X線管の焦点サイズや出力などは、基板や電子部品を撮影した際の見え方に関わります。 また、開放管・密閉管では、求められる解像度やメンテナンス性などにも違いがあります。 検査対象に適したX線検査装置を選ぶために、X線管の特徴と確認ポイントを解説します。
X線CTで基板や電子部品の微細な構造を確認する場合、ボクセルサイズは画像の細かさを判断する指標のひとつです。 ただし、小さければ常に良いわけではなく、撮影範囲やノイズ、撮影時間とのバランスも重要です。 装置比較で確認したいポイントを解説します。
X線検査装置は、カタログスペックだけでは自社の基板や電子部品をどこまで確認できるか判断しにくい場合があります。 メーカーのデモや実機テストでは、実際のワークを使い、確認したい不良の見え方や撮影時間、操作性などを比較することが重要です。 実機確認時のポイントを紹介します。
X線検査装置を導入する際は、まず検査対象や確認したい不良、必要な検査精度などの要件を整理することが重要です。 そのうえで候補メーカーを比較し、実機テストや見積、設置条件、サポート体制まで確認していきます。 装置選定から導入までの流れをわかりやすく解説します。